专注于半导体装备技术服务及零备件销售
产品服务
AMAT高温退火设备
新产品
目前该领域主要依赖设备原厂提供技术服务支持。我司已成功解决了关键部件供应及维护技术方面的难题。
提供AMAT高温退火设备的翻新、移机、安装调试、维护及相关零备件销售服务。涵盖多种机型，如Radiance、Radiance Plus、DPN、DSA和Vulcan等。
机台状态智能监控方案
晶圆损伤检测方案